规格型号：DS-2000/14K（像素2560*1600）

产地/生产厂家：中国科学院光电所

设备原值（万元）：

放置地点：沙河园区二楼205黄光室

技术参数：1）光刻分辨力（结构最小精度）：1um；

2）最大加工面积：100mm*100mm。

应用领域：微流控

主要功能：微流控领域器件制备、生物医学检测传感器件制备、微电极及其阵列制备、人工智能领域器件制备等

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